外延片 - 黄山芯微电子股份有限公司-原安徽省祁门县黄山电器有限责任公司

序号	特征	6吋参数	5吋参数
1	外延层掺杂剂	N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus	N,N+:phosphorus,Arsine
2	外延层晶向	<100>,<111>	<100>,<111>
3	外延层电阻率	0.5～120Ω▪cm	0.5～120Ω▪cm
4	外延层电阻率中心值偏差	≤±2%	≤±2%
5	外延层电阻率均匀性	≤±3%	≤±3%
6	外延层厚度	3～150μm	3-150μm
7	外延层厚度中心层偏差	≤±1%	≤±1%
8	外延层厚度均匀性	≤±3%	≤±3%
9	翘曲度/弯度	-60～60	-50～50
10	总厚度变化	≤18	≤10
11	堆垛层错	≤5/cm²	≤5/cm²
12	滑移线	＜5条，同时总长度≤硅片直径的1/2	＜5条，同时总长度≤硅片直径的1/2
13	雾	NONE	NONE
14	划伤	NONE	NONE
15	凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪	NONE	NONE
16	崩边	NONE	NONE
17	异物	NONE	NONE
18	背面沾污	NONE	NONE
19	点缺陷	NONE	NONE